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한국 반도체 공정기술 첫 국제표준 채택

디지털데일리 발행일 2013-01-14 15:04:38
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한주엽 기자
[디지털데일리 한주엽기자] 우리나라 반도체 공정기술이 첫 국제 표준으로 채택됐다.

14일 국제반도체장비재료협회(SEMI)와 한국반도체산업협회(KSIA)는 한국 반도체 공정기술이 국제표준(SEMI E5-0712)으로 채택됐다고 밝혔다.

그간 반도체 공정기술과 관련된 국제표준은 북미, 일본이 선점해왔었다. 우리나라는 세계 최고의 반도체 공정기술을 보유하고 있는데 반해 표준화 활동은 미미한 실정이었다. 반도체 공정에 사용되는 850여개의 SEMI 국제표준 가운데 국내에서 제정한 표준은 한건도 없었다.

SEMI와 KSIA는 2008년부터 삼성전자 및 SK하이닉스를 중심으로 국내 반도체 장비업체들과 함께 공정분야 표준화 활동을 적극 진행, 4년여간의 작업 끝에 국제표준 제정에 성공했다.

국제표준 SEMI E5-0712는 반도체 장비 간 통신 규격에 관한 것으로 반도체 제조 공장의 자동화에 필수적인 소프트웨어 분야 표준이다. 팹 자동화 설비변경 시 발생하는 장비간 통신오류를 낮춰 장비 간 통신 편의성을 높인 것이 특징이다.

이번 표준 제정은 KSIA에서 지식경제부 산업융합원천기술개발사업으로 수행중인 ‘차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술개발 과제’의 일환으로 추진됐다.

지식경제부와 KSIA는 향후에도 국내 장비업체들의 의견을 반영한 국제표준 개발 활동을 지속적으로 지원할 예정이라고 밝혔다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr
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