반도체

ST마이크로, CMP 통해 자사 MEMS 공정 제공

디지털데일리 발행일 2013-03-25 16:17:23
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한주엽 기자
[디지털데일리 한주엽기자] ST마이크로일렉트로닉스는 반도체 공정 IP 중계 업체인 CMP(Circuits Multi Projets)를 통해 대학, 연구소 및 설계 업체에 자사의 셀마(THELMA) 미세전자기계시스템(MEMS) 제조 공정을 제공한다고 25일 밝혔다.

ST는 이 제조공정을 활용해 수십억개의 가속도 센서와 자이로스코프를 만들었다. 회사 측은 컨슈머, 자동차, 산업용 및 헬스케어용 모션 센싱 애플리케이션 개발을 독려하기 위해 시제품 제작 및 파운드리 서비스 형태로 타 업체를 통해 이 공정 기술을 제공하고 있다.

ST 측은 CMP의 멀티프로젝트웨이퍼(MPW) 서비스를 통해 대학, 연구소 등이 소량의 칩도 셀마 MEMS 공정으로 만들 수 있게 될 것이라고 설명했다. 이미 첫 번째 요청을 받은 상태다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr
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