반도체

어플라이드, 차세대 태양전지 제조장비 공개

디지털데일리 발행일 2013-10-01 17:33:38
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한주엽 기자

[디지털데일리 한주엽기자] 장비 전문업체인 어플라이드머티어리얼즈는 프랑스 파리에서 개최되는 제 28회 유럽 태양 에너지 박람회에서 차세대 태양전지 장비인 어플라이드 솔리온 XP 이온 주입 시스템을 공개한다고 1일 밝혔다.

이 장비가 수행하는 인시츄(in-situ) 패턴 도핑(dopping)은 수율을 감소시키는 여러 공정을 제거, 높은 수율과 비용 절감을 실현함으로써 고효율 결정질 실리콘 셀 양산이 가능하다고 회사 측은 설명했다. 시간당 3000개 이상의 웨이퍼를 처리할 수 있어 웨어퍼당 소요 비용도 큰 폭으로 감소시켰다.

어플라이드머티어리얼즈의 에너지 및 환경 솔루션 그룹 총괄부사장인 짐 멀린은 “솔리온 XP 이온 주입 시스템은 더 낮은 비용으로 22% 이상의 고효율 태양전지를 제조할 수 있다”고 설명했다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr

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