반도체

어플라이드, 서울대 반도체공동연구소에 식각 장비 기증

디지털데일리 발행일 2014-10-23 16:43:43
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한주엽

[디지털데일리 한주엽기자] 어플라이드머티어리얼즈코리아는 23일 서울대학교 반도체 공동연구소에 ‘어플라이드 센츄라 어드밴트엣지 메사(Applied Centura AdvantEdge Mesa)’ 식각 장비를 기증했다고 밝혔다.

이 장비를 사용하게 될 서울대학교 반도체공동연구소는 차세대 반도체를 위한 연구개발(R&D)을 진행 중이다. 어플라이드 식각 장비는 가장 진보한 메모리와 로직칩의 소자 패터닝 등 R&D에 활용될 예정이다. 이 장비는 패터닝을 위해 원자단위 수준의 정밀도 및 균일성 제어와 더불어 높은 종횡비의 식각 기술을 가능하게 하는 최첨단 기능을 갖추고 있다.

김용길 어플라이드머티어리얼즈코리아 대표는 “앞으로도 국내 유수의 대학들과 꾸준히 협력해 훌륭한 인재들이 더 좋은 환경에서 교육받고 연구할 수 있도록 도울 것”이라고 말했다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr

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