반도체

[SK하이닉스컨콜] 1a나노 4세대 D램, EUV 적용…M16, 전용 클린룸 구축

디지털데일리 발행일 2020-11-04 10:13:57
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윤상호
[디지털데일리 윤상호 기자] 4일 SK하이닉스는 ‘2020년 3분기 실적발표 컨퍼런스콜’을 통해 “이천 M16 극자외선(EUV) 전용 클린룸을 마련했다. 장비도 일정대로 입고 예정이다”라며 “1a나노 4세대 D램부터 EUV를 적용해 생산할 계획”이라고 밝혔다.

<윤상호 기자>crow@ddaily.co.kr
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