- 히터블록 국내 점유율 1위…특수밸브 국산화 도전

[디지털데일리 김도현 기자] 지난해 일본 수출규제 이후 소재·부품·장비(소부장)의 중요성이 부각되고 있다. 세계 정상급 반도체 제조기술력을 보유해도 핵심 재료가 없으면 발목을 잡힐 수 있기 때문이다. 정부와 업계는 소부장 일본 의존도 낮추기에 집중하고 있다.

지난 16일 경기 평택 본사에 만난 이재정 메카로 대표<사진>는 “(일본 수출규제 이후) 가장 달라진 점은 ‘인식의 변화’다. 제품의 품질 및 생산성 측면을 위해 기존 거래선을 유지하고 있는 품목이 많지만 국내 업체 이원화를 고민하는 고객사가 많아졌다”고 설명했다.

메카로는 반도체 소재 및 부품인 전구체와 히터블록이 주력인 업체다. 전구체는 화학기상증착(CVD), 원자층증착(ALD) 등 공정을 통해 반도체 기판 위 금속 박막과 배선을 형성할 때 사용하는 소재다. 캐패시터에 증착돼 전류 누설과 간섭을 막는다. 히터블록은 반도체 기판인 웨이퍼에 열에너지를 균일하게 공급할 때 쓰는 부품이다. 일본이 주도하던 분야다.

이 대표는 “전구체 제조기술은 일본 아데카를 넘어섰다고 생각한다”며 “고성능 전구체를 만드려면 3~4년의 연구개발(R&D) 과정이 필요하다”고 강조했다.

메카로가 자랑하는 전구체는 ‘ZM40’이다. 고유전체(하이-K) 특성의 지르코늄(Zr) 계열 제품이다. ZM40은 21나노미터(nm) 이하 디바이스 선폭에 적용된다.

히터블록은 국내 1위다. 다양한 고객사를 확보했다. 향후 특수물질을 활용한 히터블록 등도 개발해 사업 포트폴리오 등도 확대할 방침이다.

이 대표는 “정부는 지원 정책을 늘리는 추세고 대기업에서도 제품 테스트에 적극 임하는 등 우호적인 분위기가 형성되고 있다”고 업계가 긍정적 방향으로 진화하고 있다고 했다.

그는 대학 졸업 후 8년간 일본 생활을 했다. 이 대표는 “당시만 해도 반도체는 일본이 최고였다. 부품과 소재를 한국에 들여오는 무역업을 하다가 그 모델을 한국으로 가져오기로 했다”고 말했다. 1997년 솔믹스(현 SKC솔믹스) 임원으로 국내 반도체 업계와 인연을 시작했다. 메카로에는 2006년 합류했다. 2009년 이 대표가 메카로 최대주주가 됐다.

메카로는 이달 케이브이티에스를 인수했다. 특수밸브 업체다. 반도체 생산장비에 사용한다. 새로운 도전이다.

이 대표는 “특수 밸브류는 국산화가 이뤄지지 않아 전량 수입에 의존하고 있다”며 “수입대체는 물론 한국 반도체 산업 발전에 기여할 것”이라고 전했다.

한편 정부의 소부장 육성 정책에 대해서는 아쉬움을 드러냈다. 보상 체계 보완이 필요하다고 조언했다.

이 대표는 “소재를 국산화하기 위해서는 많은 자금과 인력을 투입해야 한다. 투자비라도 건져야 하는 데 그러지 못하는 경우가 많다”라며 “일정 기간 독점적 지위를 인정해주면서 수익을 낼 수 있도록 하는 시스템을 마련해주면 좋을 것 같다”라고 제안했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr