반도체

주성엔지니어링, 시공간분할 증착장비 개발…소부장 으뜸기업 선정

디지털데일리 발행일 2021-01-11 17:51:24
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김도현
- 세계최초 성과

[디지털데일리 김도현 기자] 주성엔지니어링이 시공간분할(TSD) 방식을 적용한 장비 개발 성과를 인정받았다.

11일 산업통상자원부는 세종컨벤션센터에서 ‘소재·부품·장비(소부장) 으뜸기업 비전 선포식’을 열고 소부장 으뜸기업 22개를 발표했다.

이날 주성엔지니어링은 반도체 증착 부품·장비 제조기술 핵심전략기술 부문 ‘소부장 으뜸기업’으로 선정됐다.

주성엔지니어링은 세계최초로 TSD 원자층증착(ALD) 장비를 개발했다. 해당 기술은 차세대 공정 변화에 선제적으로 대응 가능하다. 향후 차세대 디스플레이 및 35% 이상 고효율 태양광 등으로도 확대될 전망이다.

회사 관계자는 “지난해 초 완공된 용인 연구개발(R&D)센터를 통해 세계적인 반도체 장비회사가 되기 위한 기반을 조성했다”며 “앞으로도 공정 및 하드웨어 혁신을 통해 빠르게 변화하는 반도체, 디스플레이, 태양광 산업에서 높은 경쟁력을 유지하며 미래 시장을 선점해나갈 것”이라고 강조했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr
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