반도체

SK하이닉스, 용인클러스터 산단 연내 착공…M16 설비 투입

김도현
- 경기도 심의 통과…팹 공사 일정은 아직

[디지털데일리 김도현 기자] SK하이닉스가 반도체 슈퍼사이클 대비 작업에 속도를 낸다. 용인반도체클러스터 구축을 위한 큰 산을 하나 넘었다. 이천 M16 신규 팹은 클린룸 설치를 마치고 장비가 투입되고 있다.

◆4개 반도체 팹 들어서 ‘용인클러스터’=16일 업계에 따르면 SK하이닉스와 국내외 반도체 소재·부품·장비(소부장) 업체가 입주할 용인반도체클러스터 조성사업이 ‘경기도 지방산업단지계획 심의’를 통과했다.

이번 통과로 산단의 적정성 검토를 위한 주요 행정절차가 마무리됐다. 수도권정비위원회 심의, 용인시 승인 등이 남았다. 관건은 방류수 등 지역주민 우려 해소다.

안성시는 수질 오염을 이유로 산단 조성에 반대해왔지만 최근 용인시, 안성시, SK하이닉스, SK건설 등이 관계기관 협약(MOU)을 맺으면서 문제가 일단락됐다. 향후 수질 개선 대책, 지원 방안 등이 구체화하면 산단은 연내 착공에 돌입할 전망이다.

해당 클러스터에는 기반시설 1조7000억원, 산업설비 120조원 등 약 122조원 규모 반도체 생산 및 연구시설이 들어선다. SK하이닉스는 반도체 팹 4개를 설립하고 협력사들도 관련 시설을 마련할 예정이다. SK하이닉스의 팹 공사 일정은 미정이다.

이번 산단 조성으로 ▲2만명 내외의 직·간접적 일자리 창출 ▲513조원 생산유발 ▲188조원 부가가치 유발 등의 효과가 기대된다. SK하이닉스는 생산라인이 대거 들어서는 만큼 양과 질에서의 ‘퀀텀점프’가 예상된다.
◆EUV 도입하는 M16 연내 가동=하반기에는 SK하이닉스의 신공장 M16도 본격 양산을 시작할 예정이다. SK하이닉스는 지난해 말 클린룸 구축을 완료하고 반도체 설비를 투입하고 있다. 최근 테스 유진테크 에이피티씨 오션브릿지 등과 연이어 장비계약을 맺었다. 정리가 끝나면 상반기 내 시험 생산이 이뤄질 것으로 보인다.

M16은 단순히 새로운 공장이라기보다는 SK하이닉스가 처음으로 극자외선(EUV) 공정을 활용하는 데 의미가 있다. EUV는 반도체 공정의 한계를 극복할 기술로 꼽힌다. 13.5나노미터(nm)의 짧은 파장 덕분에 미세한 회로를 그리는 데 적합하다. 노광 공정 횟수를 줄여 시간과 비용을 축소할 수도 있다.

지난해 이석희 SK하이닉스 대표는 “M16은 2021년 상반기부터 웨이퍼 투입할 예정”이라며 “연구소에서 EUV 관련 실험을 하고 있다. EUV는 10나노급 4세대(1a) D램부터 적용한다. 2021년 하반기 정도에 생산이 시작될 것”이라고 말했다.

한편 SK하이닉스는 올해 말 인텔의 낸드 사업부문 인수를 위한 1차 거래를 완료한다. 8조192억원을 지급하고 남은 2조2912억원은 2025년 3월에 제공한다. 인텔의 솔리드스테이트드라이브(SSD), 낸드 단품 및 웨이퍼 비즈니스, 중국 다롄 공장 등 인수대상이다. 이를 계기로 매출 비중에서 D램 의존도를 낮추고 낸드 사업이 강화될 전망이다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr
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