반도체

"日 독점 소재 국산화했는데"…램테크놀러지, 불산공장 증설 무산되나

김도현
- ‘설립 불허가 처분’ 관련 행정소송 제기

[디지털데일리 김도현 기자] 램테크놀러지의 반도체 소재 생산능력 확대가 난항을 겪고 있다. 신공장 설립 관련 지역주민 반대에 이어 건축불허 처분까지 받았다. 일본 규제 품목을 내재화하고도 증설이 쉽지 않아 업계에서는 우려의 목소리가 나온다.

30일 램테크놀러지는 충남 당진시를 대상으로 ‘석문산단 내 불산공정 설립 불허가 처분’에 대해 대전지방법원에 행정소송을 접수했다고 밝혔다.

회사 관계자는 “지난 13일 충청남도 행정심판위원회의 심리 결과에서 지자체 건축인허가 불허가 처분이 나온 것은 부당하다는 판단”이라며 “석문산단 내 신규 공장은 안전사고 예방을 위해 불화수소 생산라인을 밀폐구조로 설계하는 등 안전성을 최우선으로 두고 구축할 계획”이라고 설명했다.

이어 “수입 의존도가 높은 불화수소는 국산화 및 생산 안정화가 필요한 만큼 적극 대응해 신공장 건립 재추진할 것”이라고 덧붙였다.

램테크놀러지는 반도체 회로를 깎거나 세정에 쓰이는 불화수소 공급 업체다. 불화수소는 지난 2019년 일본 수출규제 당시 3대 제재 품목에 포함될 만큼 핵심 제품으로 꼽힌다. 램테크놀러지는 고순도 불화수소를 내재화해 국내 고객사 납품에 성공했다.

작년 2월 300억원을 투자해 신공장을 짓기로 했다. 완공 시 생산능력이 5~6배 늘어날 것으로 기대됐다. 다만 지역주민 반대로 착공이 이뤄지지 않았고 행정심판에서 사실상 패소했다. 이에 램테크놀러지는 투자 기간을 오는 2023년 6월30일로 연장했다.

회사 관계자는 “당진시에서 인근 주민 및 입주기업 등 공공 안정성 확보 문제를 지적했다. 수차례 시의회 의원, 석문면개발위원회 관계자 등을 만나 설명했으나 진전이 없었다. 지역주민 대표기구나 환경단체를 만나려 노력했으나 만남의 기회조차 주어지지 않았다”고 토로했다.

한편 업계에서는 이번 반대 이유로 2016년 램테크놀러지 공장 사고를 꼽았다. 당시 충남 공주 생산라인에서 불산계 화학물질 누출사고가 발생해 1개월 가동중단 조치를 받은 바 있다.
김도현
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