- 삼성전자·SK하이닉스 대응 차원
- CMP·EUV 소재 공급할 듯

[디지털데일리 김도현 기자] 독일 머크가 한국 생산거점을 강화한다. 삼성전자, SK하이닉스 등과 밀접한 관계를 유지하려는 의도다.

22일 업계에 따르면 머크는 국내 고객사와 화학기계연마(CMP) 슬러리 품질 테스트를 진행 중이다. 상반기 내 납품을 시작할 전망이다.

머크 관계자는 “구체적인 공급 시점은 미정이지만 조만간 이뤄질 것”이라고 전했다.

CMP 슬러리는 반도체 웨이퍼 표면을 연마해 평탄화하는 소재다. 웨이퍼와 CMP 패드 사이에 넣고 회전시키는 방식으로 쓰인다.

앞서 머크는 경기 평택에 CMP 슬러리 생산라인을 구축했다. 2020년 개소한 한국첨단기술센터(K-ATeC) 내 연구개발(R&D) 시설과 제조설비를 들였다.

CMP 소재는 고객사마다 요구하는 물성 차이가 있다. 이를 충족하기 위해 현지 개발 및 생산하는 추세다. 공정 전환에 따른 수정 사항도 신속하게 대응할 수 있다는 장점도 있다.

이에 일본 쇼와덴코 등도 우리나라에 CMP 슬러리 공장을 짓기로 했다. 국내 동진쎄미켐, 케이씨텍 등에 해외 기업이 가세하면서 경쟁이 심화할 것으로 보인다.
머크는 극자외선(EUV) 린스액도 국내 생산을 준비 중이다. 해당 제품은 EUV 노광 공정 이후 찌꺼기 등을 제거하는 역할을 한다. 불화아르곤(ArF) 등 기존 광원과 다른 전용 소재가 필요하다.

EUV 린스액 역시 고객사와 퀄리티 체크를 진행하고 있다. 그동안 해외 공장에서 만들다가 국내 제조를 앞둔 상태다.

머크가 2019년 인수한 버슘머트리얼즈도 한국 반도체 시장에서 존재감을 키워가고 있다. 이 회사는 DPT(Double Patterning Technology) 재료를 삼성전자 등에 공급하고 있다. DPT는 미세공정 회로를 덧그리는 ‘더블 패터닝’ 방식에서 반도체 손상을 막아주는 방패다. 삼성전자는 DPT 물량 절반 정도를 버슘머트리얼즈에 의존한다.