- 러시아·우크라이나 전쟁 영향 최소화
- 2023년 테스트 2024년 상용화 목표

[디지털데일리 김도현 기자] 삼성전자와 포스코가 반도체 필수 소재 내재화에 나선다. 러시아 우크라이나 전쟁 장기화에 따른 리스크 관리 차원이다.

27일 삼성전자(대표 한종희 경계현)는 포스코와 제논(Xe) 가스 국산화를 추진한다고 밝혔다.

제논 가스는 3차원(3D) 수직구조(V)낸드 등 첨단 반도체 생산에 사용되는 희귀가스 중 하나다. 공기 중 극미량이 포함돼 대형 공기분리장치를 보유한 제철소에서 주로 생산된다. 현재 전량 수입에 의존하고 있다. 미국 중국 프랑스 러시아 우크라이나 등이 대상이다.

이에 양사는 ‘반도체용 제논 가스 사업협력’을 위한 양해각서(MOU)를 체결하고 2024년부터 제논 가스를 주고받기로 했다.

삼성전자는 글로벌 공급망 이슈가 심화하고 있는 상황에서 이번 협력을 통해 반도체 공급망 다변화를 도모할 방침이다.

포스코는 2023년까지 광양제철소 공기분리장치에서 제논 가스를 추출하는 설비 기술 개발을 진행한다. 2024년부터 생산을 시작해 2027년까지 생산량을 확대할 계획이다. 삼성전자는 포스코가 생산한 제논 가스 품질인증을 거쳐 생산라인에 적용할 예정이다.

삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문 구매팀장 전준영 부사장은 “삼성전자와 포스코 협력은 반도체 핵심소재 국산화는 물론 국내 반도체 소재 산업 발전에도 기여할 것”이라고 전했다.

포스코 윤덕일 경영기획본부장은 “포스코 설비를 활용해 네온(Ne)에 이어 제논 국산화를 추진할 수 있게 되어 뜻깊게 생각한다”며 “삼성전자와 긴밀한 협력으로 국내 반도체 업계의 안정적인 희귀가스 공급망 구축을 지원하겠다”고 말했다.

한편 SK하이닉스는 지난 5일 반도체용 제조기업 TEMC 및 포스코와의 협업을 통해 네온 가스 내재화에 성공했다고 발표했다. 현재 국산 비중은 40%로 2024년까지 100% 달성이 목표다. 네온 가스는 반도체 노광 공정에서 활용되는 엑시머 레이저 가스 주재료다.