반도체

인텔, 日니콘에 자금 지원… 450mm 웨이퍼용 노광 장비 공동 개발

디지털데일리 발행일 2012-08-08 15:48:04
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한주엽 기자
[디지털데일리 한주엽기자] 세계 최대 반도체 업체인 미국 인텔이 450mm 웨이퍼용 노광 장비를 개발하기 위해 일본 니콘에 자금을 대기로 했다.

8일 니혼게이자이신문은 니콘이 인텔로부터 수백억엔의 개발비를 지원받아 450mm 웨이퍼에 대응하는 노광 장비를 개발키로 했다고 보도했다.

니콘은 연구개발(R&D) 과정을 거쳐 2018년 해당 장비를 상용화한다는 계획이다. 노광 공정은 실리콘 웨이퍼에 반도체 회로를 얇게 그려 넣는 과정을 뜻한다. 반도체 제조 공정 가운데 핵심으로 꼽힌다. 니콘은 반도체 노광 장비 시장 2위 업체다.

인텔은 앞서 세계 반도체 노광 장비 시장에서 80%의 점유율을 차지하고 있는 네덜란드 ASML에 총 41억달러를 투자하겠다고 발표했다. 대만 TSMC도 ASML에 14억 달러를 투자했다.

ASML은 450mm 웨이퍼용 노광 장비를 개발하기 위해선 대규모 자금이 소요될 것으로 판단, 인텔과 TSMC 외 삼성전자에도 자금 지원과 출자를 제안한 바 있다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr
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