- SK하이닉스에 초도 물량 공급…추가 수주 기대

[디지털데일리 김도현기자] 국내 반도체 업계가 웨이퍼 이송시스템(OHT) 국산화를 진행 중이다. 일본이 독점했던 분야다. 삼성전자와 SK하이닉스는 계열사와 협력사를 통해 일본의존도 낮추기에 나선다.

4일 업계에 따르면 에스에프에이는 OHT 초도 물량을 SK하이닉스에 공급했다.

OHT는 웨이퍼가 담긴 통(풉)을 운반하는 장비다. 공장 천장에 설치된 레일을 따라 웨이퍼를 각 공정 장비로 옮겨 준다. 해당 업계 1위는 일본 다이후쿠다. 국내는 물론 인텔, TSMC 등 글로벌 기업이 다이후쿠 OHT를 사용하고 있다.

삼성전자는 계열사 세메스가 개발한 OHT를 지난 2016년 처음 도입했다. 이후 세메스 비중을 늘리면서 다이후쿠 물량을 줄이고 있다. SK하이닉스도 에스엠코어를 통해 OHT 수직계열화를 준비 중이지만 아직 시간이 필요하다.
에스에프에이는 스마트 공장 분야에 특화된 업체다. 자체 인공지능(AI) 기술도 갖추고 있다. OHT는 ▲웨이퍼 오염 보호 ▲이동 시 먼지 발생 최소화 ▲빠른 이동속도 ▲경로 계산 소프트웨어 등이 핵심이다. 에스에프에이는 물류 장비 노하우와 AI를 OHT에 접목했다.

에스에프에이의 OHT는 다이후쿠 대비 가격경쟁력이 높다. 고장 위험이 감지되면 미리 신호를 주고, 병목현상이 발생하면 할당 값을 실시간으로 찾아 대응할 수도 있다. 이를 통해 기존 장비보다 수율을 약 10% 높인다.

에스에프에이는 SK하이닉스 외에 여러 고객사와 OHT 관련 논의를 진행하고 있다. 반도체 제조업체의 패키지 및 테스트 라인 등에 OHT를 수주하기도 했다. 향후 물류시스템 사업과 연계해 OHT 관련 ‘턴키’ 시스템을 갖추는 것이 목표다.

반도체 업계 관계자는 “그동안 OHT는 일본이 장악한 시장이다. 국내 세메스, 에스에프에이 등이 진출한 것은 장기적으로 긍정적”이라며 “지난해 일본 수출규제 이후로 국산화 움직임이 본격화된 가운데 에스에프에이 역시 수혜를 입게 될 가능성이 크다”고 분석했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr