EUV 라인 늘리는 삼성…디바이스이엔지, '풉 세정장비' 공급 확대
- 美 브룩스오토메이션과 경쟁…EUV 시장 성장세로 물량 증가
[디지털데일리 김도현 기자] 삼성전자가 극자외선(EUV) 라인을 확대했다. 협력사도 분주하다. EUV 라인 관련 업체 수혜가 예상된다.
30일 업계에 따르면 디바이스이엔지는 삼성전자 화성사업장 EUV 전용라인 ‘V1’ 등에 풉(FOUP:Front Open Unified Pod) 세정장비를 공급했다.
풉은 웨이퍼가 담긴 통이다. 웨이퍼는 풉에 담겨 각 공정을 이동한다. 풉 세정장비는 공정을 마친 후 풉 내부 이물을 세척하는데 쓴다. 초순수(오염 물질을 제거한 물)를 사용한다. 삼성전자는 그동안 디바이스이엔지,일본 휴글, 미국 브룩스오토메이션 등의 풉 세정장비를 사용했다. 디바이스이엔지는 작년 EUV 풉 세정장비도 납품을 시작했다.
삼성전자는 EUV를 반도체 위탁생산(파운드리)에서 D램으로 넓히고 있다. EUV 라인이 늘어나면 EUV용 풉 세정장비 필요량이 늘어난다. 브룩스오토메이션과 물량을 분배하더라도 디바이스이엔지 수혜가 기대된다.
한편 디바이스이엔지는 삼성 계열사 세메스 출신 임원들이 경영진 대다수를 차지한다. 풉 세정장비와 유기발광다이오드(OLED) 노광공정에서 쓰이는 파인메탈마스크(FMM) 오염제거장비가 주력이다. 국내외 반도체, 디스플레이 업체를 고객사로 두고 있다.
<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr
추석에도 열일하는 AI “독거노인 살피고, 귀성길 음악도 추천”
2024-09-17 11:36:26잘나가는 AI 기업 만든 ‘투자 큰손’ 빅테크 빅6 어디?
2024-09-17 09:00:00한국 등 7개국 디지털화폐 공동 이용 한걸음 더… '아고라' 프로젝트 참여할 40여개 민간기관 선정
2024-09-17 00:25:07'엔하이픈' 웹툰 '다크 문: 달의 제단', 日 애니화 결정
2024-09-16 22:02:28촉법소년 1.68배 증가…"디지털성범죄 피의자, 10대가 70%"
2024-09-16 12:28:28