반도체

SKC솔믹스, 반도체 CMP패드 신공장 가동…"국산 비중 높인다"

김도현
- 안성 1공장 이어 천안 2공장 가동 본격화…연간 18만장 생산

[디지털데일리 김도현 기자] SKC 자회사 SKC솔믹스가 반도체 소재 국산화 작업을 이어간다. 화학기계연마(CMP)패드 신공장이 돌아가기 시작했다.

3일 SKC솔믹스는 최근 충남 천안 CMP패드 2공장 상업가동을 개시했다고 밝혔다.

폴리우레탄 소재로 만드는 CMP패드는 노광·식각·증착 공정을 거친 반도체 웨이퍼 표면을 기계적·화학적 작용으로 연마하는 고부가 제품이다. 반도체의 집적도를 높이는 핵심 소재다. 최근 반도체 공정 미세화로 사용량이 늘고 있다. 업계에 따르면 전 세계 CMP패드 시장 규모는 2023년 1조5800억원에 달할 전망이다.

다만 이 제품은 기술 및 특허 장벽이 높다. 기존에 미국 업체 2곳이 점유율 90% 이상을 차지하고 있다.
SKC솔믹스는 지난 2015년 동성에이엔티로부터 CMP패드 특허 및 영업권을 인수하면서 시장에 뛰어들었다. 같은 해 경기 안성에 연산 6만장 규모 1공장을 준공하면서 사업을 본격화했다. 작년 470억원을 투입해 연산 12만장 규모 천안 2공장을 착공했다. 이번 가동으로 SKC솔믹스는 CMP패드 생산능력 18만장을 확보하게 됐다.

SKC솔믹스는 국내외 특허 200여건은 출원한 상태다. CMP패드 업체 중 유일하게 원액 제조 레시피를 보유하고 있다. 마이크로미터(㎛) 수준 CMP패드 속 기공의 크기, 균일도를 자유자재로 조절하는 역량도 갖고 있다. 고객사가 원하는 물성과 접촉면을 가진 CMP패드를 신속 개발 및 공급할 수 있다는 의미다.

SKC솔믹스는 국산화 비중을 높여가는 게 목표다. 이미 텅스텐 공정용 패드를 개발해 고객사가 사용하던 수입산을 대체했고 카퍼 공정용 패드를 국산화한 바 있다. 최근에는 난도가 높은 옥사이드 공정용 패드도 국내 최초 개발했다.

SKC솔믹스 관계자는 “천안공장은 수입에 의존했던 CMP패드와 블랭크마스크를 생산하며 반도체 소재 국산화를 이끌어가는 거점이 될 것”이라면서 “진행 중인 해외 글로벌 반도체 제조사 인증평가를 성공적으로 마무리하고 글로벌 시장에 진출해 반도체 소재 공급망 강화에 기여하겠다”고 강조했다.
김도현
dobest@ddaily.co.kr
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