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알에프세미, 예스파워테크닉스 SiC 전력반도체 생산

디지털데일리 발행일 2022-08-04 14:58:22
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김도현
- 650V·1200V 이어 1700V 제품 양산

[디지털데일리 김도현 기자] 알에프세미가 반도체 수탁생산(파운드리) 사업에 속도를 낸다.

4일 알에프세미(대표 이진효)는 예스파워테크닉스(대표 정은식)와 공동으로 1700볼트(V) 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체를 양산한다고 밝혔다.

알에프세미는 지난해부터 6인치 파운드리 사업을 개시했다. 예스파워테크닉스는 지난 4월 SK그룹에 편입된 SiC 전력반도체 회사다.

SiC 기반 제품의 경우 고온과 고전압의 극한 환경에서도 98% 이상의 전력변환효율을 유지하는 등 내구성과 안정성, 범용성을 고루 갖췄다. 기존 실리콘(Si) 반도체를 대체하면서 전기차, 수소차, 5세대(5G) 통신망 등 분야에서 확대 적용되는 추세다.

국내 기업들도 SiC 시장에 뛰어든 가운데 인피니언, 크리, 온세미 등 해외 업체가 강세다.

1700V급 SiC는 국내에서 처음 개발된 제품이다. 1700V의 고압 측정, 이온 주입, 활성화 공정 및 표면 처리 기술 등이 난제로 꼽힌다.

양사는 작년부터 650V, 1200V급 SiC 제품 관련 헙업을 하고 있다. 이번에 제작하는 1700V SiC 전력반도체는 예스파워테크닉스에서 제품 설계와 일부 공정을 진행하고 알에프세미에서 상용화했다.

해당 제품은 안정성 확보가 필요한 전기차와 충전시간 단축을 위해 고전압 및 고전류가 필수적인 자동차 충전기 등에 사용된다.

알에프세미 이진효 대표는 “전북 전주 공장에서 20여년간 6인치 웨이퍼 팹을 운영하면서 공정, 생산, 개발, 장비 기술을 보유하고 있다”며 “2년간 공정 개발을 통해 95% 이상 생산 수율을 확보했다”고 강조했다.
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김도현
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