반도체

비코, 신형 GaN MOCVD 장비 출시

디지털데일리 발행일 2014-09-11 15:32:21
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한주엽

[디지털데일리 한주엽기자] 비코인스트루먼트코리아는 11일 신형 질화갈륨(GaN) 유기금속화학증착(MOCVD) 장비인 ‘터보디스크 EPIK700’을 출시한다고 발표했다.

신제품은 적은 운영 비용으로 높은 생산성과 수율을 제공함으로써 LED 제조 비용을 줄일 수 있다고 회사 측은 설명했다. EPIK700 MOCVD는 기존 대비 처리 용량이 2배 이상 늘어난 리액터(reactor)를 탑재하고 있다. 아울러 리액터의 공정 균일성 및 생산성 또한 향상돼 처리량이 기존 리액터에 비해 2.5배나 늘었다.

비코의 수석 부사장인 윌리암 J 밀러 박사는 “새로운 시스템은 LED 제조 비용을 더욱 낮춰줄 것”이라고 말했다. 비코 부사장이자 총괄 이사인 짐 젠슨은 “새로운 장비에는 생산 용량 및 처리량, 공간효용성, 파장 균일성을 향상시킬 수 있는 비코의 기술력이 집약돼 있다”며 “고객사의 소유 비용을 대폭 절감 또는 개선시킬 수 있을 것”이라고 말했다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr

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