어플라이드, 플렉시블 OLED 박막봉지용 PECVD 장비 2종 출시

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디지털데일리 발행일 2015-10-13 16:52:26

한주엽

어플라이드머티어리얼즈는 13일 플렉시블 유기발광다이오드(OLED)를 생산할 때 필요한 박막봉지(thin-film encapsulation, TFE) 플라즈마화학기상증착장비(PECVD: plasma enhanced chemical vapor deposition)인 ‘AKT-20K’와 ‘AKT-40K’를 출시한다고 발표했다.

이들 장비는 박막봉지 배리어 층(thin-film encapsulation barrier layers)을 증착하는 데 사용된다. OLED 재료인 유기발광물질은 수분과 산소에 취약하기 때문에 이를 보호하는 배리어 층이 꼭 필요하다. 기존 휘지 않는 패널에는 유리 기반의 봉지 배리어 층이 증착됐으나 플렉시블 패널은 보다 얇은 박막 형태의 층을 증착해야 한다. 이 장비는 광학인쇄(photolithography) 및 식각 공정단계를 제거해 제조비용을 절감할 수 있고 정밀하게 마스크 위치를 조절할 수 있어 정확한 증착이 가능하다고 어플라이드 측은 설명했다.

AKT-20K 장비는 6세대 2분할(925×1500mm), 40K는 8세대 2분할(1250×2200mm) 공정 라인에 적용된다.

<한주엽 기자>powerusr@insightsemicon.com

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