- 동진쎄미켐·SK머티리얼즈·솔브레인·코오롱인더스트리 등 성과

[디지털데일리 김도현 기자] 일본 수출규제 이후 업계는 공급망 다변화를 진행하고 있다. 소재·부품·장비(소부장) 업체도 연이어 성과를 냈다. 당시 제재 대상에 오른 반도체·디스플레이 소재 3종 포토레지스트(PR)·폴리이미드(PI)·불화수소(HF)의 경우 국산화 작업에 속도가 붙었다.

29일 동진쎄미켐에 따르면 불화아르곤(ArF) PR을 국내 최초로 상업화했다. 감광액으로도 불리는 PR은 노광 공정 핵심소재다. 반도체 웨이퍼에 PR을 바르고 회로대로 빛을 쬐면 패턴이 형성된다.

PR은 크게 ▲불화크립톤(KrF·248nm) ▲불화아르곤(ArF·193nm) ▲극자외선(EUV·13.5nm)용으로 나뉜다. 이중 ArF가 가장 많이 쓰인다.

동진쎄미켐은 삼성전자와 협업을 통해 ArF PR을 개발했다. 해당 제품은 최근 삼성전자 메모리 공장에 투입되기 시작했다.

다음 관문은 EUV PR 확보다. EUV는 차세대 노광 기술로 미세공정의 필수 요소로 꼽힌다. 시스템반도체에 이어 D램까지 적용 범위가 넓어지면서 중요성이 점점 커지고 있다. 높은 기술력만큼 EUV PR은 제작 난도가 높다. 일본 도쿄오카공업(TOK), JSR, 신에츠 등이 시장점유율 80~90%를 차지하고 있다.

삼성전자와 SK하이닉스는 미국 듀폰, 인프리아 등을 통한 우회 경로를 모색하면서도 국내 협력사와의 자체 조달을 추진하고 있다.

앞서 삼성전자는 실적발표 컨퍼런스콜에서 ‘고감도 고성능 PR을 개발해 기술우위를 확보할 것’이라고 밝힌 바 있다. ArF PR처럼 동진쎄미켐과 작업을 진행 중인 것으로 전해진다. SK머티리얼즈도 금호석유화학 전자소재사업을 인수하면서 PR 시장에 뛰어들었다. 내부적으로 EUV PR 연구에 나선 상태다.

PI와 HF는 상당 부분 진척이 이뤄졌다. 각각 디스플레이 보호필름, 이물질 제거 등의 역할을 한다.

PI는 코오롱인더스트리가 2019년 하반기부터 양산에 돌입했다. SKC, SK이노베이션 등도 PI 사업을 운영하고 있다.

HF는 가장 많은 결과물이 나온 분야다. 액체와 기체로 나뉘는데 솔브레인, 램테크놀러지, 이엔에프테크놀러지 등이 액체 HF를 국내 고객사에 제공 중이다. SK머티리얼즈는 지난해부터 기체 HF 양산을 시작했다.

한편 지난 1월 한국무역협회에 따르면 2020년 우리나라가 일본에서 수입한 불화수소는 938만달러(약 105억원) 수준이다. 전년(3633만달러)대비 74.2% 급감했다. 전체 불화수소 수입량 중 일본산이 차지하는 비중은 32.2%에서 12.8%로 낮아졌다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr