- 삼성전자 인텔 TSMC SK하이닉스 등 투자 지속

[디지털데일리 김도현 기자] 시장에 대한 시각차와 별개로 반도체 투자는 여전했다. 덕분에 지난 2분기 글로벌 장비업체들은 같이 웃었다. 하반기 전망도 긍정적이다.

19일(현지시각) 미국 어플라이드머티어리얼즈(이하 어플라이드)를 끝으로 반도체 장비 ‘톱5’의 실적발표가 마무리됐다.

이날 어플라이드는 미국 회계연도 3분기(2021년 4~6월) 매출 61억9600만달러(약 7조3300억원), 영업이익 20억1000만달러(약 2조3800억원)를 기록했다고 밝혔다. 각각 전년동기대비 41%와 75% 늘었다.

게리 디커슨 어플라이드 최고경영자(CEO)는 “전 세계 반도체 수요가 급증하면서 이번 분기에 기록적인 성과를 달성했다. 반도체 장비 및 서비스에 대한 수요는 여전히 굳건하다”고 설명했다.

업계 1위 어플라이드는 ▲식각 ▲이온주입 ▲증착 등 장비 라인업이 다양하다. 이 영향으로 반도체와 디스플레이 사업 모두 강자다. 각각 전년대비 매출이 53%, 1% 올랐다. 이번에는 반도체가 실적 개선을 이끈 셈이다. 어플라이드는 주요 고객사의 첨단공정 확대를 긍정 요소로 꼽았다. 2021년 28나노미터(nm) 이상 제품 수익이 전년대비 2배 늘어날 것으로 전망했다.

네덜란드 ASML은 2분기에 극자외선(EUV) 효과가 극대화했다. 매출 비중에서 EUV가 처음으로 불화아르곤(ArF)를 넘어섰다. ASML은 2021년 2분기 매출액과 영업이익이 각각 40억2000만유로(약 5조4500억원), 12억3900만유로(약 1조6800억원)으로 나타났다. 각각 전년동기대비 21%와 37% 상승했다.

피터 베닝크 ASML CEO는 “2분기 매출 이익률은 50% 상회하면서 전분기 예상을 초과했다. 소프트웨어 업그레이드와 일회성 매출 회계 처리를 포함한 영향”이라며 “우리 제품군에 대한 수요는 여전히 높다. 생산능력 극대화를 위한 많은 노력을 하고 있다”고 설명했다.

ASML은 EUV 및 ArF 노광 장비가 주력이다. 1대당 2000억원에 달하는 EUV 장비는 독점 중이다. 기존 삼성전자 TSMC에 이어 SK하이닉스 인텔 마이크론 난야 등도 EUV 도입을 공식화했다. 이미 EUV 장비 예약 매출액은 49억유로(6조6500억원)다.

식각 분야에 특화된 미국 램리서치도 호성적을 거뒀다. 2분기 매출액 41억4500만달러(약 4조9000억원), 영업이익 13억2640만달러(약 1조5700억원)으로 집계됐다. 각각 전년동기대비 48%, 76% 확대했다.

팀 아처 램리서치 CEO는 “강력한 반도체 수요와 증가하는 장치 복잡성이 결합돼 장비 투자 수준이 높아지고 있다. 차별화된 기술 및 고객과 협력을 통해 리더십을 확장할 것”이라고 이야기했다.

이 기간 램리서치의 매출 59% 메모리에서 나왔다. 삼성전자 SK하이닉스 마이크론 등 투자가 긍정적인 영향을 미친 셈이다. 램리서치는 차세대 메모리 식각 장비, EUV용 드라이 레지스트 등 개발을 통해 새 먹거리 발굴에도 나선 상태다.

반도체 검사장비가 메인인 미국 KLA는 2021년 회계연도 4분기(2021년 4~6월) 매출액 19억2500만달러(약 2조2760억원), 순이익 6억3300만달러(약 7500억원)을 기록했다고 발표했다. 각각 전년동기대비 32%, 54% 증가했다.

릭 월라스 CEO는 “지속되는 고객 수요로 기대 이상 실적이 나왔다. 창립 이래 연간 16% 성장률을 달성했고 이에 이사회는 12회 연속 배당금 수준 인상을 승인했다”고 강조했다.

KLA는 파운드리 매출 비중이 68%다. 파운드리 낙수효과로 후공정 업체들이 생산능력을 확대하면서 검사장비 구매가 늘어난 것으로 보인다.

일본 도쿄일렉트론(TEL)은 2022년 회계연도 1분기(2021년 4~6월) 매출액과 영업이익이 4520억엔(약 4조8756억원), 691억엔(약 7450억원)으로 나타났다고 밝혔다. 각각 전년동기대비 44%와 27% 늘었다.

TEL은 증착 장비가 주력 제품이다. 이 기간 메모리와 시스템 반도체 비중은 유사했다. 전 분야 고른 투자가 이뤄진 것으로 추정된다. 지역별로 보면 중국 비중이 급증했다. 전년동기대비 2배 이상 늘었다. 현지에 공장을 둔 업체도 포함된 매출이지만 중국이 미국 대신 일본 업체를 통해 장비 확보하는 사례가 증가한 것으로 보인다.

한편 반도체장비재료산업협회(SEMI)는 2022년 반도체 장비 매출액은 1013억1000만달러로 예상된다. 올해(952억9000만달러)보다 더 늘어난 수치다. 현실화하면 처음으로 연간 장비 매출이 1000억달러를 넘어서게 된다. SEMI는 내년까지 반도체 공장 29개가 더 생길 것으로 내다봤다. 삼성전자 인텔 TSMC SK하이닉스 등은 한국 미국 중국 등에 연이어 투자를 단행하기로 했다.