- 반도체 공정 실시간 모니터링·PECVD 장비 내재화

[디지털데일리 김도현 기자] 일본 수출규제 이후 소재·부품·장비(소부장) 국산화가 화두로 떠올랐다. 정부와 기업은 해외 의존도를 낮추기 위해 정책 수립, 신제품 개발 등을 진행했다.

이 과정에서 과학기술정보통신부(과기정통부) 산하 나노종합기술원(나노종기원)은 소부장 업체 지원을 강화했다. 지난해 3월부터 12인치(300mm) 반도체 테스트베드 운영을 시작하면서 제품 분석 서비스, 연구개발(R&D) 지원 등을 본격화했다.

26일 과기정통부와 나노종기원은 반도체 소부장 12인치 테스트베드 서비스 개시 1주년을 맞아 이날 서울 서초구 엘타워에서 성과보고회를 개최했다.

이번 행사에서는 테스트베드 구축 및 운영실적 보고와 소부장 기술자립화 우수성과가 공개됐다.

지난해 말 기준으로 12인치 반도체 테스트베드 이용실적은 62개 기업, 1226여건으로 나타났다.

사례로는 ‘반도체 양산공정 실시간 모니터링 시스템 상용화(코리아스펙트럴프로덕츠)’ ‘반도체 플라즈마화학기상증착(PECVD) 장비 국산화(아이에스티이)’ 등이 발표됐다.

코리아스펙트럴프로덕츠는 나노종기원 플라즈마 장비를 활용해 개발 제품 성능 검증 및 신뢰성 확보를 진행했다. 글로벌 반도체 장비업체에서 양산장비 적용 평가 중인 것으로 전해진다. 올해부터 매출 발생이 본격화할 전망이다.

아이에스티이도 나노종기원 지원으로 반도체 증착장비 국산화에 성공했다. 수요 대기업이 요구하는 웨이퍼 데모 성능평가 항목 19개 모두 통과했다. 기존 제품 대비 박막균일도, 접착력 등이 개선됐다는 후문이다.

이외에 불화아르곤(ArF) 이머전용 반도체 소재, 12인치 드라이 식각장비 등 연구성과도 공개됐다.

이조원 나노종기원 원장은 “국가 핵심 나노인프라 및 반도체 테스트베드라는 나노종기원 역할과 책임을 다해 국가 나노기술 혁신과 반도체 소부장 국산화를 이끌어 나가는 핵심 기관이 될 것”이라고 밝혔다.

한편 나노종기원은 국민건강 대응 및 맞춤형 디지털 헬스케어를 위한 반도체 공정기반 나노메디컬 디바이스 개발사업도 소개했다. 마라나노텍코리아는 반도체 공정기술을 적용한 감염병 진단키트 개발에 나선다.