반도체

나노종기원-파버나인코리아, 차세대 편광판 개발

디지털데일리 발행일 2022-02-22 08:41:16
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김도현
- ArF 이머전 스캐너 활용

[디지털데일리 김도현 기자] 나노종합기술원(이하 나노종기원)과 파버나인코리아가 협업을 통해 차세대 소재를 개발했다.

21일 나노종기원은 파버나인코리아와 선격자 편광판(WGP:Wire Grid Polarizer) 상용화에 성공했다고 밝혔다.

WGP는 기존 폴리비닐알코올(PVA) 편광판 대비 고내열성, 고투과율 및 얇은 두께 특성을 지니고 있는 것으로 평가받는다. 자동차용 이미지센서, 접는(폴더블) 스마트폰 및 메타버스용 디스플레이 등에 적용할 수 있다.

파버나인코리아는 편광부품 상용화에 필수적인 대면적 마스터 개발을 추진하던 중 나노종기원의 불화아르곤(ArF) 이머전 스캐너를 활용하는 방식 도입을 결정한 뒤 본격 개발에 돌입했다.

나노종기원은 12인치(300mm) 반도체 장비와 공정기술을 활용해 마스터 제작에 필요한 이음매 결함 등 문제해결에 착수했다. 구체적으로 나노 패턴 디자인과 공정 기술을 적용해 마스터 제작을 지원했다.

파버나인코리아는 300mm 대면적 WGP용 마스터 제작지원으로 양산 생산단가 절감과 품질향상을 이뤄냈다. 현재 국내외에서 새로운 응용제품 투입을 준비 하고 있다.

파버나인코리아 이성중 대표는 “전 세계적으로 WGP에 대한 수요 증가와 신규 응용제품 적용이 본격화되고 있다. 2022년 하반기부터 본격적인 매출 발생을 기대하고 있다”고 전했다.

나노종기원 이조원 원장은 “이번 성과는 12인치 반도체 테스트베드를 활용한 첨단 광학부품 상용화 성공사례다. 나노종기원 테스트베드가 국내 중소기업 제품 개발에 다양하게 활용될 수 있다는 점을 확인했다”고 강조했다.
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김도현
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