참석자 질문에 답변하는 박흥수 나노종합기술원 원장

- 12인치 반도체 테스트베드 확대 예고

- “비용 절감·시간 단축 필요” 업계 지적도

[디지털데일리 김도현 기자] 나노종합기술원(NNFC)가 정부 주도하에 진행되고 있는 반도체 소재·부품·장비(소부장) 산업 육성에 힘을 보탠다. 업계에서는 중책을 맡은 만큼 서비스 개선이 이뤄져야 한다는 목소리도 나온다.

26일 NNFC는 경기 판교 한국반도체산업협회 회관에서 ‘12인치 반도체 소부장 테스트베드 서비스 개선 설명회’를 개최했다.

NNFC는 과학기술정보통신부 산하 조직으로 대전 한국과학기술원(KAIST) 내 반도체 연구시설을 운영하고 있다. 과거 8인치 반도체 설비만 보유하고 있었으나 2019년 일본 수출규제 이후 중요성이 부각되면서 2021년부터 12인치 반도체 테스트베드를 가동하게 됐다.

현재 NNFC는 반도체, 멤스(MEMS), 바이오, 소재 등 측정 및 분석할 수 있는 장비 412대를 돌리고 있다. 본원은 클린룸과 연구동을 합쳐 8000평 규모다.

나노종합기술원 12인치 반도체 테스트베드

이날 박흥수 NNFC 원장은 “NNFC는 원천기술을 사업화하려는 기업 또는 연구기관을 돕는 역할을 한다”며 “주요 서비스를 플랫폼화하는 작업을 진행 중”이라고 밝혔다.

NNFC는 삼성전자, SK하이닉스 등으로부터 중고장비를 이전받아 다양한 반도체 연구개발(R&D)을 수행하고 있다. 확보한 설비 메이커로는 네덜란드 ASML을 비롯해 미국 어플라이드머티어리얼즈·램리서치·KLA, 일본 도쿄일렉트론(TEL) 등으로 면면이 화려하다. 최첨단 제품은 아니나 일정 공정까지 소화할 수 있는 수준을 갖췄다. 앞으로도 고성능 반도체 장비를 꾸준히 확보할 방침이다.

2년 전 개시한 12인치 반도체 테스트베드는 빠르게 성과를 내고 있다. 초기 6곳을 수요기업으로 확보하는데 불화했다면 2022년 말 기준으로 81곳까지 확장했다. 이들과 협업한 과제는 3444건에 달한다.

삼성전자와 SK하이닉스는 물론 국내외 소부장 기업과 협력 중이다. NNFC에 따르면 ▲영창케미칼 불화아르곤(ArF) 이머전 포토레지스트 국산화 ▲SK스페셜티 고순도 삼불화아민(F3NO) 평가 ▲엘오티베큠 건식 진공 펌프 상용화 등 프로젝트를 이행했다. 이외에도 반도체 공정 개선을 위한 솔루션도 다수 제공했다.

NNFC 소개하는 임성규 나노공정기술부장

임성규 NNFC 나노공정기술부장은 “이러한 작업을 통해 글로벌 기업에 부품이나 장비를 납품하는 사례가 지속되고 있다”며 “(특허 관련) 법적 분쟁이 나타날 때도 NNFC에 분석을 의뢰하기도 한다”고 설명했다.

수요기업 의견을 청취하기 위한 자리인 만큼 업계 관계자들의 질의응답 시간도 마련됐다. 한 소부장 업체 관계자는 “중소기업이 이용하기에는 비용 부담이 있다. 또한 회사 입장에서는 시급성이 중요하다. 최대한 빠르게 결과물을 받아볼 수 있도록 해야 할 것”이라고 지적했다.

또 다른 관계자는 “장비 개발하는데 100억~200억까지 들어간다. 최종 의사결정을 내리기 위한 검증 작업에서 패턴 웨이퍼가 필요한데 이 부분이 제대로 지원 안 되는 것이 아쉽다”고 전했다.

한국반도체산업협회 담당자는 “(다양한 반도테 테스트베드가 등장하는 과정에서) NNFC가 중심을 잡아줘야 한다. 과기부에서도 새로 만들기보다는 NNFC 투자를 확대해야 한다”고 강조했다.

이같은 의견에 박 원장은 “인력 부족, 공공기관 특성 등 제약이 있다. 최대한 효율적으로 운영하려고 준비 중이다. 결론적으로 NNFC는 1차 평가자 역할을 강화해야겠다고 판단했다. 올해 하반기면 좋은 소식을 전할 수 있을 것”이라며 “굵직한 임무가 있을 때 기업, 대학 등과 어떻게 연계할 것인지가 중요하다. 기업들과 논의할 수 있는 자리를 많이 만들어서 하나씩 해결해 나가겠다”고 답변했다.