반도체

주성엔지니어링, CNE에 차세대 M램 식각장비 공급

디지털데일리 발행일 2013-09-16 12:23:47
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한주엽 기자
[디지털데일리 한주엽기자] 주성엔지니어링(www.jseng.com 대표 황철주)은 반도체 제조업체인 CNE(Crocus Nano Electronics)와 차세대 메모리인 자기저항메모리(Magnetic RAM, M램) 식각장비 공급계약을 체결했다고 16일 밝혔다.

CNE는 MRAM 반도체 개발 업체인 크로크스 테크놀로지와(Crocus Technology)와 러시아 국영 해외투자기업 러스나노(RUSNANO)가 설립한 합작사다. 이번 공급은 미국 크로크스 테크놀로지가 주성의 기술과 제품에 대한 양산성을 검증했다는 점에서 의미가 있다고 회사 측은 설명했다.

주성이 공급하는 MRAM 식각 장비(제품명 Genaon Plus)는 플래티넘, 망간, 코발트 등의 자기 금속층을 제거할 수 있는 핵심 공정 장비로 식각 공정 중 측면에 남아있는 찌꺼기인 폴리머(Polymer)를 모두 제거, 반도체 칩 효율을 월등히 높일 수 있다는 것이 회사 측 설명이다.

MRAM은 플래시메모리의 장점인 비휘발성과 D램의 장점인 빠른 동작속도를 결합한 저전력, 고집적, 차세대 메모리로 주목받고 있다. 주성은 이번 장비 공급을 기반으로 차세대 반도체 식각장비 시장에 조기 진입한다는 목표다.

황철주 주성엔지니어링 대표는 “이번 장비공급으로 주성과 CNE가 세계 최초로 M램 양산기술을 확보할 수 있게 됐다”며 “향후 고객사와의 장기적 우호 관계를 형성해 차세대 반도체 시장을 개척하는 데 협력하겠다”고 밝혔다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr
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