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한미반도체-제너셈, 장비 특허 분쟁 장기화하나…추가 소송 제기

김도현
- 첫 번째 소송, 대법원 계류 중

[디지털데일리 김도현 기자] 국내 반도체 장비 업체 간 법적 분쟁이 장기화할 전망이다. 원고 업체가 추가 소송을 제기했다.

8일 한미반도체(대표 곽동신)는 제너셈(대표 한복우)을 상대로 서울중앙지방법원에 특허침해 소송(사건번호 2021가합501155)을 제기했다고 밝혔다.

곽동신 대표는 “제너셈이 한미반도체 대표 제품인 ‘비전 플레이스먼트’ 장비 핵심 특허 기술을 무단 사용한 부분에 대해 소송을 걸었다”며 “오랜 시간 개발해 온 지식 재산권을 침해하는 기업에는 앞으로 적극적으로 대응할 계획”이라고 설명했다.

해당 장비는 웨이퍼에 절단된 반도체 패키지를 세척, 건조, 검사, 선별, 적재 공정을 수행한다. 제너셈은 ‘쏘잉 싱귤레이션’이라는 장비를 판매 중이다. 두 장비 용도는 유사하다.

양사의 소송전은 지난 2018년 4월에 시작됐다. 당시 한미반도체가 특허침해금지 소송(사건번호 대법원 2020다274277)을 제기했다. 지난 2019년 10월 1심 판결에서 승소했다.

지난해 9월 2심에서도 한미반도체가 이겼다. 특허법원 제23부는 제너셈이 관련 기술을 무단 사용했다고 인정해 해당 제품 생산 및 판매 등을 금지하라고 판결했다. 제너셈의 상고로 3심까지 이어진다. 대법원에서 계류 중이다.

신규 소송은 비전 플레이스먼트에 적용된 다른 기술에 관한 것이다. 한복우 대표는 한미반도체 출신으로 비전 플레이스먼트 담당팀장을 역임한 것으로 알려졌다. 한미반도체가 의구심을 품는 지점이다.

제너셈은 현재 생산하고 있는 장비는 자체 개발한 기술을 도입했다는 입장이다. 첫 번째 소송에 얽힌 기술은 사용하지 않고 있다고 밝혔다. 제너셈 관계자는 “두 번째 소송은 아직 소장이 나오지 않아 파악하지 못했지만 쏘잉 싱귤레이션 사업과 무관할 것으로 보고 있다”고 말했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr
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