반도체

삼성전자 “불산 희석액 유출 사고 2차 피해 없다”

디지털데일리 발행일 2013-01-28 18:58:05
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한주엽 기자
[디지털데일리 한주엽기자] 삼성전자는 “화성 반도체 11라인 화학물질 보관 장소에서 불화수소산(불산)이 누출됐지만 가스가 아닌 희석액이고 곧바로 폐수처리장으로 보내져 2차 피해는 없을 것”이라고 28일 밝혔다.

삼성전자 관계자는 “27일 오후 불화수소 희석액 공급장치에서 이상이 감지돼 이날 밤 11시부터 수리를 시작했다”라며 “28일 새벽 4시 46분에 작업이 완료됐고, 2~3리터 가량의 불산 희석액이 유출됐지만 현재 기온이 낮아 기체로 기화되지는 않았다”라고 설명했다.

또 “현재 화성 사업장은 정상적으로 조업을 하고 있다”라고 밝혔다.

이날 새벽 불산 배관 교체 작업을 했던 협력사 STI서비스의 직원 1명이 통증을 호소해 병원으로 옮겨졌지만 오후 1시경 사망했다. 함께 작업을 했던 4명은 현재 병원에서 치료를 받고 있다.

삼성전자 관계자는 사건을 은폐하려 했던 것이라는 일각의 보도에 대해 “왜 은폐를 하겠느냐?”며 “신고 주체가 화학물 전문 협력사인 STI서비스인데 소방서, 경찰서, 노동청 등에 다 신고를 했다”라고 말했다.

삼성전자 측은 “이번 사고 원인을 철저히 조사해 재발방지 대책을 마련하겠다”라며 “고인의 명복을 빌고 유족에게 위로의 뜻을 전한다”라고 밝혔다.

불산은 반도체의 주 원료인 실리콘 웨이퍼에서 불필요한 부분을 녹이거나(식각) 세정하는 데 사용되는 화학물질이다.

피부에 닿으면 발진이 일어나고 흡입하면 구토나 두통, 호흡곤란 증세를 보인다. 심할 경우 사망에 이를 수도 있다. 따라서 불산을 전문적으로 다루는 업체들은 배관 등 관련 작업 시 방어복과 마스크를 필수적으로 착용한다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr
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