반도체

이재용 부회장, EUV 전용라인 방문…“시스템 1위 첫 단추”

김도현
- 삼성전자 첫 EUV 전용라인 ‘V1’

[디지털데일리 김도현기자] 이재용 삼성전자 부회장이 반도체 현장경영에 나섰다. 화성사업장을 찾아, 시스템반도체 사업을 점검했다.

20일 삼성전자는 이 부회장이 화성사업장 극자외선(EUV) 전용라인 ‘V1’을 방문했다고 밝혔다. 이 부회장은 생산라인을 살펴보고, 임직원들을 격려했다.

이날 이 부회장은 “지난해 우리는 이 자리에 시스템반도체 세계 1등의 비전을 심었다”며 “오늘은 긴 여정의 첫 단추를 끼웠다. 이곳에서 만드는 반도체에 인류사회 공헌의 꿈이 담길 수 있도록 도전을 멈추지 말자”고 강조했다.

V1은 삼성전자의 첫 EUV 전용라인이다. 2020년 2월부터 본격 가동을 시작했다. EUV는 파장 길이가 13.5나노미터(nm)다. ArF(193nm) 대비 14배 짧다. 짧은 파장 덕분에 미세한 회로를 그리는 데 적합하다. 얇은 붓을 쓰면 섬세한 그림을 그릴 수 있는 것과 같은 원리다. 공정 미세화가 진행될수록 EUV 도입은 필수적이다.

삼성전자는 EUV 라인을 중심으로 반도체 위탁생산(파운드리) 사업을 강화할 방침이다. 파운드리 업계 1위 TSMC보다 EUV 공정을 선제 도입한 바 있다. 향후 파운드리 확장에 핵심 카드로 꼽힌다.

한편 삼성전자는 지난해 ‘반도체 비전 2030’을 선언했다. 시스템반도체에 133조원을 투자, 메모리에 이어 시스템 분야에서도 1위를 달성하겠다는 계획이다. 1만5000명 채용, 생태계 육성 지원방안 등의 내용도 포함됐다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr
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