반도체

에스티아이, SK하이닉스 반도체 후공정 장비 수주

디지털데일리 발행일 2021-12-22 19:54:41
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김도현
- ‘플럭스 리플로우’ 설비, 공동 개발 및 양산화

[디지털데일리 김도현 기자] 반도체 및 디스플레이 장비업체 에스티아이가 신제품 수주에 성공했다.

22일 에스티아이는 SK하이닉스와 12인치(300mm) 웨이퍼 전용 플럭스 리플로우 장비 공급 계약을 체결했다. 양사 간 공동 개발한 설비다. 금액과 기간 등은 미공개다.

플럭스는 반도페 기판 납땜(솔더) 표면의 산화물 제거와 기판 접착력을 높여주는 역할을 한다. 다만 공정 중 챔버 내부를 오염시킬 수 있는 물질을 발생시키는 단점이 있다.

에스티아이가 이번에 공급 계약한 플럭스 리플로우 장비는 플럭스가 일으키는 오염 현상을 극소화한다. 챔버 내부 상태를 최적으로 유지해 공정 진행을 원활하게 해준다.

에스티아이 관계자는 “이번 거래는 반도체 공정 장비에 대한 개발 및 양산화에 의미가 있다. 앞으로도 연구개발에 적극적으로 대응할 것”이라고 말했다.
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김도현
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