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오로스테크놀로지, 8인치 오버레이 계측장비 수주

디지털데일리 발행일 2022-05-25 10:50:00
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김도현
- 韓日 고객사 하반기 공급

[디지털데일리 김도현 기자] 반도체 장비업체 오로스테크놀로지가 제품 포트폴리오를 확장 중이다. 12인치(300mm) 오버레이 계측장비에서 8인치(200mm)로 넓혔다.

25일 오로스테크놀로지(대표 이준우)는 국내 반도체 제조사들로부터 8인치 오버레이 계측장비 ‘OL-100n’에 대한 수주를 받았다고 밝혔다. 올해 하반기 납품을 목표로 한국 및 일본 고객사 4~5곳과 OL-100n 평가도 진행 중이다.

오버레이 계측장비는 웨이퍼 상부층과 하부층 전자회로 패턴 위치가 정확하게 정렬되는지 측정하는 제품이다. 패턴 간 오차를 나노미터(nm) 단위로 검사하고 노광기 위치를 보정해 반도체 수율을 높인다.

OL-100n은 기존 12인치 제품 기술 기반으로 6인치 및 8인치 공용 설비다. 레거시 공정 위주인 8인치 반도체에서는 오버레이 계측장비를 사용하지 않았다. 다만 화합물반도체를 중심으로 6인치와 8인치 시장이 커지면서 관련 장비 수요가 생겼다. 화합물반도체는 두 종류 이상 원소로 구성된 것으로 탄화규소(SiC), 질화갈륨(GaN) 등이 속한다. 실리콘(Si) 반도체 대비 전력 효율과 내구성 등이 높아 전기차 산업 등에서 주목받고 있다.

OL-100n은 화합물반도체 구성 물질에 따라 달라지는 공정 환경에 대응할 수 있도록 유연하게 설계된 것으로 전해진다. 회사 관계자는 “해외 경쟁사의 노후화된 장비 대비 뛰어난 성능과 빠른 측정 속도를 갖췄다”며 “기존 장비에서 진행하지 못하는 산화막, 알루미늄막까지 측정할 수 있다”고 설명했다.

지난해 한국나노기술원, 나노종합기술원 등 국내 연구기관에 공급되기도 했다. 이어 대만과 국내 반도체 수탁생산(파운드리) 팹에 반입돼 양산 적용 중이다.
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김도현
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