반도체

검찰, 삼성 자회사 반도체 세정 장비 기술 中 유출 일당 기소

김도현
- 세메스 노하우 빼돌려 710억원 취득

[디지털데일리 김도현 기자] 삼성전자 자회사 세메스의 반도체 세정 장비 기술이 중국으로 넘어갔다. 검찰은 해당 사건에 가담한 이들을 재판에 넘겼다.

25일 수원지검 방위사업·산업기술범죄형사부는 부정경쟁방지 및 영업비밀보호에 관한 법률, 산업기술보호법 위반 등 혐의로 세메스 전 직원 A씨 등 7명을 구속기소했다고 밝혔다. 이들을 도운 세메스 전 연구원 2명과 A씨가 탈취한 기술 기반으로 설립한 C 회사는 불구속기소했다.

A씨는 삼성전자에 반도체 장비를 납품하는 세메스에서 10년 이상 연구원으로 근무한 것으로 알려졌다. 검찰에 따르면 A씨와 범행에 동참한 이들은 지난 2018년 3월부터 2021년 12월까지 세정 장비 노하우를 부정하게 빼내 동일 사양 제품을 14대 제작했다. 퇴직 당시 보유 정보를 제출하지 않거나 협력업체로부터 관련 기술이 적용된 부품을 공급받는 수법을 썼다는 후문이다.

A씨 등은 세메스 근무 이력을 내세워 투자자를 모집한 것으로 전해진다. 이후 국내 천안에 C 회사를 세운 뒤 해당 기술과 장비를 중국 기업 및 연구소 등에 판매했다. 이를 통해 약 710억원을 취득한 혐의를 받는다.

이번에 유출된 세정장비는 세메스가 자체 개발한 것이다. 반도체 기판 패턴 형성 과정에서 발생하는 오염물질을 제거하는 역할을 한다.

한편 A씨 등은 국정원 산업기밀보호센터 첩보로 검찰 수사가 시작되자 하드디스크 및 휴대전화 등 관련 증거를 인멸한 것으로 파악됐다.
김도현
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