- ArF 포토레지스트와 가격 유사

[디지털데일리 김도현 기자] 반도체 및 디스플레이 소재업체 영창케미칼이 스핀온카본마스크(SOC) 사업을 강화을 한다.

5일 영창케미칼은 주요 고객사 신제품 개발에 따른 공급 및 매출 확대 등 수혜가 예상된다고 밝혔다.

최근 국내 반도체 기업은 238단 4차원(4D) 낸드플래시 개발 소식을 전했다. 업계 최고 수준으로 내년 양산 예정이다.

영창케미칼은 지난해 200단 이상 낸드 제조용 소재인 SOC를 개발 완료해 해당 기업에 공급 중이다. 내년부터 영창케미칼은 SOC 공급량을 큰 폭으로 확대할 수 있을 것으로 보고 있다.

SOC는 반도체 패턴 식각 시 식각비를 향상시키기 위해 사용하던 비정질탄소막(ACL)을 대체하는 신규 물질이다. 겔론당 단가는 불화아르곤(ArF)용 포토레지스트(PR)와 비슷한 수준의 하이엔드 제품이다. 사용 편의성이 높고 ACL 증착 장비 투자비를 절감할 수 있어 기존 ACL를 사용하던 공정은 대부분 SOC로 전환되고 있다.

아울러 낸드 단수가 증가하면 SOC 사용 공정 수도 늘어나는 만큼 점차 SOC 수요는 늘어날 전망이다.

영창케미칼과 국내 D사, 해외 기업들이 SOC를 납품 중이다. 이 가운데 영창케미칼이 가장 많은 물량을 소화 중인 것으로 전해진다.

영창케미칼에 따르면 자체 개발한 낸드용 SOC는 경쟁사 대비 ▲평탄화 성능 향상 ▲EBR(Edge Bead Remover) 개선 ▲연기(Fume) 감소 ▲베이크 공정 시간 단축 등에서 우위다. 이는 공정 마진과 수율(완성품 중 양품 비율)을 향상에 기여했다. 이미 D램용 SOC는 2013년부터 양산 중으로 해당 고객사 SOC 공정 30% 이상을 점유하고 있다.

영창케미칼 관계자는 “국내외 경쟁사 대비 높은 품질을 구현하고 메탈하드마스크 등 실험적 제품 개발에 성공하는 등 SOC 분야 기술과 시장을 선도하고 있다”고 강조했다.