- ASML의 ArF 이머저 스캐너 활용

[디지털데일리 김도현 기자] 나노종합기술원이 ASML코리아와 손잡고 반도체 노광설비 부품 신뢰성 테스트를 위한 협력 프로젝트를 추진한다고 21알 밝혔다. ASML코리아는 노광 분야 세계 1위 네덜란드 ASML 한국법인이다.

이번 협업으로 나노종기원은 기보유 중인 불화아르곤(ArF) 이머전 스캐너를 활용해 ASML코리아와 핵심 장비부품 신뢰성 검증 가능성을 확인하기로 했다. 나노종기원은 노광기 확보가, ASML코리아 입장에서는 안정적인 장비 유지보수 서비스 제공을 위한 부품 테스트베드 협력기관이 필요했다는 후문이다.

나노종기원은 “해당 제품은 삼성전자, SK하이닉스 등 반도체 생산에 쓰이는 필수 장비다. ASML코리아 노광장비 파트수리 검증 솔루션 개발팀(RDC)의 부품 신뢰성 검증 지원을 통해 국내 반도체 산업에 기여할 수 있다고 판단돼 상호협력에 나서기로 했다”고 설명했다.

구체적으로 ASML코리아 RDC가 전 세계적으로 수리 요청이 있는 부품에 대해 수리를 완료하고 관련 정상 작동 여부를 가려내기 위해 나노종기원이 보유한 장비를 활용해 신뢰성 검증을 진행했다.

검증한 부품은 반도체 노광공정 장비 웨이퍼 스테이지 작동을 관리하는 컴퓨터 부품(SIOB)이다. ASML코리아 RDC가 개발한 테스트 기기 신뢰성을 높이기 위하여 실증 평가 검증 결과 비교, 수명성 테스트 등을 통하여 부품 신뢰성 검증과 정상 작동을 확인했다.

양 기관은 이번 협력 성과를 통해 기술원 보유 12인치(300mm) 반도체 장비와 공정기술을 적용한 다양한 장비 부품 검증 및 개발 가능성을 확인했고 향후 지속 협력하기로 하였다.

이우경 ASML코리아 대표는 “부품 테스트를 위한 나노종기원 지원에 감사드린다. 나노종기원 설비를 사용해 실제 공정환경과 유사한 환경에서 테스트하면서 ASML코리아 RDC 부품 기술적 신뢰성을높일 수 있게 됐다”고 강조했다.

이조원 나노종기원 원장은 “나노종기원이 반도체 소부장 개발을 위한 테스트베드로서의 역할을 세계적으로 인정받은 것”이라면서 “앞으로도 국내외 반도체 소부장 제품개발 지원을 강화할 것”이라고 말했다.