ATMI는 10일 코엑스 인터컨티넨탈호텔에서 기자회견을 갖고 이 같은 계획을 밝혔다. 장성규 ATMI 한국지역 대표는 이날 “한국 공장은 삼성전자 반도체 사업부, SK하이닉스 등 국내 대기업 수요에 적극 대응하게 될 것”이라며 “중국과 대만으로 수출한다는 계획도 갖고 있다”라고 말했다.

이온주입은 실리콘웨이퍼에 미세한 가스 입자 형태의 불순물을 침투시켜 전자소자 특성을 만드는 공정이다. ATMI는 이온주입 공정용 재료와 공정 분야에서 업계 선두를 달리는 업체로 ‘가장 안전하고 비용 효율적인’ 솔루션을 제공한다고 강조했다. 핵심 기술은 바로 SDS(Safe Delivery Source). SDS는 유해가스를 탄소 흡착제 재료를 통해 저장, 전달하는 기술이다. 대기압보다 낮은 압력으로 가스를 주입하기 때문에 밸브가 열리거나 용기가 깨져도 유해 물질이 누출되지 않는다. ‘반도체 백혈병 발병’ 논란이 이온주입 공정에서 시작됐던 사례가 다수 있는 만큼 ATMI의 SDS는 경쟁력 있는 핵심 기술이라는 것이 전문가들의 설명이다.

ATMI는 장안 공장이 가동되면 본사 매출과 한국 지역 비중도 보다 커질 것이라고 설명했다. 장 대표는 “한국에는 미국 본사와 마찬가지로 영업, 연구소, 공장이 모두 위치하고 있다”라며 “국내 고객사에 맞춤형 상품을 제공할 것”이라고 설명했다.

그는 반도체 소자 회로선폭이 한계치만큼 축소돼 있는 상태고 장비 분야에선 극자외선(EUV) 노광기 도입이 이미 늦어져 재료 분야의 혁신 요구가 커지고 있다고 강조했다. ATMI는 고객사와의 협업을 통해 핀펫(FinFET), V낸드 등 3D 구조를 갖는 차세대 소자용 플라즈마 도핑 이온주입 재료 등을 올해부터 공급한다는 계획을 밝혔다.

ATMI의 지난해 연간 매출액은 3억6000만달러. 이 가운데 70%가 아시아 지역에서 나온다. 지난해 한국 지역 매출액은 9000억달러였다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr