- 램리서치·듀폰·머크 등 한국 거점 강화

[디지털데일리 김도현 기자] 한국이 ‘반도체 허브’로 거듭나고 있다. 글로벌 기업이 국내로 향하면서 생산은 물론 연구개발(R&D) 인프라가 강화되는 분위기다. 삼성전자 SK하이닉스의 존재가 이를 견인했다는 평가다.

5일 업계에 따르면 미국 램리서치는 올해 하반기에 경기 용인 R&D센터를 오픈한다. 램리서치는 지난 2019년 경기도청과 ‘한국테크놀로지센터(KTC)’를 설립하겠다는 업무협약(MOU)을 체결한 바 있다. 지난해 말에는 KTC 관련 인력 채용에 나섰다.

램리서치는 미국 어플라이드머티어리얼즈, 네덜란드 ASML 등과 세계 3대 장비업체로 꼽힌다. 주력 분야인 반도체 식각 공정을 비롯해 박막 증착, 웨이퍼 세정, 감광막 제거 등의 장비를 양산하는 생산한다. 글로벌 장비사가 국내에 R&D센터를 두는 것은 이례적이다.

MOU 당시 램리서치는 “R&D센터를 한국으로 확대해 고객과 더 신속하고 밀접하게 일할 수 있을 것”이라고 밝혔다. 삼성전자와 SK하이닉스를 고려했다는 의미다.

미국 종합화학업체 듀폰도 국내 시설을 강화한다. 지난해 초 충남 천안에 극자외선(EUV)용 포토레지스트(PR) 및 화학기계연마(CMP) 패드 개발·생산 시설을 구축하기로 했다. 연내 투자를 마무리할 계획이다.

주목할 부분은 일본의존도가 높았던 EUV PR이다. 반도체 공정이 미세화하면서 차세대 노광 기술인 EUV는 핵심으로 떠올랐다. 삼성전자에 이어 SK하이닉스도 EUV 도입을 앞둔 만큼 양사는 주요 소재 공급처 다변화를 진행할 수 있게 됐다.
지난해는 독일 머크가 경기 평택에 ‘한국첨단기술센터(K-ATeC)’를 개소했다. 아난드 남비아 머크 반도체 소재 사업부문 글로벌 대표는 “한국은 머크의 중요한 혁신 및 생산 허브다. 기술센터 완공 및 역량 확장을 위해 350억원 이상 투자했다”고 설명했다.

K-ATeC는 고객 평가를 위한 샘플링 랩, 전문 설비 갖춘 클린룸 등으로 구성된다. 고도화된 CMP 슬러리 및 포스트 CMP 클리닝에 대한 R&D를 진행하고 있다.

일본 장비업체 도쿄일렉트론(TEL)도 평택에 ‘평택기술지원센터(PTSC)’를 신설했다. 머크와 마찬가지로 삼성전자(화성·평택) SK하이닉스(이천·용인) 등 사업장 인근에 센터를 마련했다. 이외에 일본 도쿄오카공업(TOK)와 아데카는 각각 EUV PR, 고유전재료를 국내에서 생산하기로 했다.

반도체 업계 관계자는 “삼성전자와 SK하이닉스라는 글로벌 칩 메이커가 국내에 있기 때문에 협력사 입장에서는 이들과의 관계를 유지하는 데 집중할 수밖에 없다. 해외 업체의 국내 투자는 지속할 것”이라며 “이러한 추세는 국내 소재·부품·장비(소부장) 업계에도 기회가 될 수 있다. 국내로 들어온 기업과의 협업 가능성이 커지기 때문”이라고 분석했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr