반도체

“수달도 인정”…삼성전자, 반도체 폐수처리 노하우 공개

김도현
- 평택캠퍼스 그린동 시설, 일평균 7만톤 폐수 정화

[디지털데일리 김도현 기자] 삼성전자가 세계 물의 날을 맞아 경기 평택 반도체 공장의 폐수처리시설 ‘그린동’ 노하우를 21일 공개했다.

반도체를 만드는 과정에서 많은 양의 물이 필요하다. 웨이퍼를 깎고 회로를 새길 시 오염을 방지하기 위함이다.

평택캠퍼스에는 매일 7~8만톤의 물이 들어온다. 각 공정에서 사용된 물은 그린동을 거쳐 폐수종말처리장으로 이동한다. 그린동은 서울월드컵경기장 잔디 구장 면적의 약 3.7배 규모다. 최첨단 시설도 갖췄다.

반도체 공정 폐수는 성분에 따라 크게 6가지로 나뉜다. 이중 알칼리성 폐수를 처리하는 과정에서 활성탄을 이용해 필터링하는 친환경 공법을 적용한다.

그린동의 폐수처리는 ▲무기 1차처리 ▲유기처리 ▲무기 2차처리 ▲방류구 ▲폐수종말처리장 ▲평택 진위천 방류 순으로 이뤄진다.

무기처리는 약품의 화학반응을 이용해 불, 인, 탄소 등의 오염 물질을 응집시킨 뒤 찌꺼기를 침전시키는 과정이다. 오염 물질을 방류 기준 이하로 제거하기 위해 두 차례 진행한다.

유기처리는 미생물을 활용해 질소 등을 제거하는 단계다. 폐수처리의 핵심으로 오염 물질을 미생물이 먹게 하고 기체 상태도 변화시켜 없앤다.

정화과정이 끝난 물은 방류관을 거쳐 배출된다. 2.6킬로미터(km)의 방류구 내 산소 농도를 관리하고 기계실처럼 도장해 관리가 쉽고 안전한 시설을 구축했다. 이후 고덕 폐수종말처리장으로 이동한다.

이러한 과정을 통제하는 곳은 중앙통제실(CCR)이다. 정화부터 방류까지 모든 단계와 방류한 물의 품질 모니터링, 각 공정을 감시하는 안전 시스템 등이 진행된다. 밸브 조작 등 현장업무를 제외한 97% 업무를 자동화했다.

삼성전자 관계자는 “폐수처리는 반도체 사업장의 마지막 공정이라는 책임감을 갖고 있다”며 “폐수처리에 사용하는 약품은 환경과 안전을 고려해 대체할 수 있도록 기술개발에 나서고 있다”고 설명했다.

한편 지난해 삼성전자 경기 기흥 반도체 사업장 인근 오산천에 수달이 나타나기도 했다. 수달은 깨끗한 물에서만 사는 멸종 위기 동물이다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr
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