- 日 TEL 독점장비 일부 대체

[디지털데일리 김도현 기자] 삼성전자가 메모리 핵심 설비 내재화를 이어가고 있다. 일본 협력사가 모든 물량을 담당하던 낸드플래시 식각장비가 대상이다.

9일 업계에 따르면 세메스는 삼성전자에 7세대 176단 낸드 식각장비를 공급 중이다.

식각 공정은 반도체 회로를 깎거나 전기적 연결을 위해 구멍을 내는 단계다. 낸드에서는 ▲셀마다 홀을 뚫는 ‘고종횡비’ ▲트랜지스터 스위치인 워드라인과 데이터가 흘러 다니는 비트라인 간 배선 연결하는 ‘콘택트’ ▲주변부 배선을 이어주는 ‘페리퍼리’ 등으로 식각 단계가 나뉜다.

이들 작업을 수행하는 장비는 과거 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 사실상 독점했다. 기술 난도가 높은 만큼 국내 회사가 진입하기 쉽지 않았다.

식각은 핵심 공정인데다 특정 업체 의존도가 높다는 부분에서 삼성전자는 공급망 다변화를 원했다. 일본 수출규제 전후로 토종 장비에 대한 수요가 늘기도 했다.

삼성 계열사인 세메스가 성과를 냈다. 지난 2020년 세메스는 5세대 96단 낸드 콘택트 공정 제품을 삼성전자 중국 시안 공장 등에 투입했다.

이어 6세대 128단, 7세대 176단에서도 세메스는 같은 설비를 제공하고 있다. 최신 낸드에 적용됐다는 점이 의미가 있다. 세메스는 향후 공급 범위와 대수를 늘리기 위해 준비 중으로 전해진다.

반도체 업계 관계자는 “전공정 장비 분야에서는 미국과 일본 기업이 여전히 강하다”면서 “한 번에 대체할 수는 없겠으나 일부분이라도 국산화해나간다면 외산 비중을 줄일 수 있을 것”이라고 말했다.

한편 세메스는 2021년 연매출 3조1362억원, 영업이익 3534억원을 기록했다. 전년대비 각각 41%와 24% 올랐다. 반도체 호황으로 사상 최대 실적을 달성했다.