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에스앤에스텍, 용인에 417억 신규 투자…EUV 블랭크마스크용 검사 장비 도입

디지털데일리 발행일 2024-12-04 16:08:29
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고성현 기자
[ⓒ에스앤에스텍]
[ⓒ에스앤에스텍]

[디지털데일리 고성현 기자] 에스앤에스텍(대표 정수홍)이 경기도 용인 반도체 산업단지에 위치한 공장에 신규 투자를 진행한다고 4일 밝혔다.

에스앤에스텍은 회사 유보자금 약 417억 원을 투자해 극자외선(EUV)용 블랭크마스크 양산을 위한 시설 투자와 신규 장비를 도입한다. 이번 투자는 EUV용 블랭크마스크 검사 장비를 도입하는 것으로, 용인 반도체 벨트에 위치한 고객사 요구에 대응키 위함이다. 회사는 2020년부터 약 4년간 연구개발(R&D)해 온 EUV용 블랭크마스크 양산이 결실을 맺는 신호탄이라고 강조했다.

EUV용 블랭크마스크는 EUV 노광 공정에서 웨이퍼에 회로를 새기는 데 활용되는 패턴 마스크의 원판으로 나노미터 수준의 얇은 다층막(멀티 레이어) 위에 흡수체인 기반 합금을 다시 적층하는 과정을 거쳐 제작된다.

에스앤에스텍 관계자는 "2025년 준공 시점 전까지 EUV 제품에 대한 수요는 대구사업장에 투자한 장비로 대응이 가능하며 용인 사업장은 증가하는 시장 수요에 대응해 양산 생산라인을 마무리할 계획"이라고 말했다.

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고성현 기자
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