반도체

LG실트론, 구미 공장서 불산 섞인 화학물질 누출

디지털데일리 발행일 2013-03-04 14:24:45
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한주엽 기자
[디지털데일리 한주엽기자] 반도체 웨이퍼 생산업체인 LG실트론 구미 공장에서 사고가 발생해 불산이 섞인 화학물질이 누출됐다.

LG실트론은 지난 2일 저녁 8시34분경 경상북도 구미시 임수동에 있는 2공장에서 불산이 섞인 화학물질 30~60리터가 누출됐다고 3일 밝혔다.

이번에 유출된 화학물질은 질산과 불산 등이 섞인 혼합액으로 웨이퍼를 세정하는데 사용된다.

LG실트론 측은 “웨이퍼 제조 후공정 가운데 하나인 식각 공정에 사용되는 혼합액 소량이 필터링하는 용기 덮개의 이상으로 새어 나갔다”고 설명했다.

현재까지 이번 사고로 인한 인명 피해는 없는 것으로 알려졌다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr
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