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큐알티, 반도체 분석 신기술 도입…구리배선 회로 수정

디지털데일리 발행일 2022-03-17 22:22:58
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김도현
- 마스크 수정·웨이퍼 제조 시간 및 비용 절감

[디지털데일리 김도현 기자] 전자부품 신뢰성 평가업체 큐알티가 반도체 불량 분석에 신기술을 적용한다.

17일 큐알티는 집속이온빔(FIB) 반도체 구리배선 회로 수정 기술로 반도체 불량 분석 전문성을 강화할 것이라고 밝혔다.

큐알티는 나노미터(nm) 크기의 조작 및 가공 가능한 FIB 전문 장비를 활용해 반도체 미세회로를 수정하는 서비스를 제공하고 있다. 이를 활용하면 반도체 제품 특성 개선 여부를 확인하기 위한 마스크 수정과 웨이퍼 제조에 필요한 시간과 비용을 줄일 수 있다.

해당 기술력을 큐알티는 반도체 미세회로 수정 및 불량 분석 서비스 사업을 확장할 방침이다. 최근 고객사의 제품 개발자가 FIB 구리배선 회로 수정 작업 과정을 직접 관찰할 수 있도록 경기 광교 캠퍼스에 오픈랩을 마련하기도 했다.

전희석 큐알티 수석연구원은 “반도체 공정이 초미세화 또는 고밀도화되면서 시제품 생산 비용도 기하급수적으로 높아지고 있다”며 “생산 공정에서 회로 설계 이상이 감지되면 빠르게 문제점을 해결할 수 있는 FIB 회로수정 및 불량 분석 서비스 시장은 앞으로 더 커질 것”이라고 전했다.
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