반도체

SK하이닉스, 2024년까지 네온 가스 전량 국산화

디지털데일리 발행일 2022-10-05 11:14:18
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윤상호
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- 3분기, 반도체 공정 국산 네온 비중 40% 확대

[디지털데일리 윤상호 기자] SK하이닉스가 반도체 원료 국산화에 속도를 내고 있다. 2024년까지 네온(Ne) 가스 전량을 국산으로 대체할 계획이다.

SK하이닉스(대표 박정호 곽노정)는 반도체 공정에 활용하는 네온 가스 국산 사용 비중을 40%까지 확대했다고 5일 밝혔다.

네온은 반도체 노광공정에 사용하는 엑시머 레이저 가스 주재료다. 엑시머 레이저 가스 95%가 네온이다. 엑시머 레이저 가스는 엑시머 레이저를 만든다. 엑시머 레이저는 웨이퍼에 반도체 회로를 새길 때 이용한다.

네온은 공기 중에 0.00182%만 존재하는 희귀자원이다. 네온을 채취하려면 대규모 공기분리장치(ASU)플랜트가 필요하다. 작년 3월까지 국내 반도체 업계는 네온 전량을 수입했다.

SK하이닉스는 TEMC 및 포스코와 협력 지난 네온 국산화를 추진했으며 지난 4월 국내 업계 최초로 국산 네온을 도입했다. 2024년까지 네온 전량을 국산으로 전환할 방침이다.

SK하이닉스 팹(FAB)원자재구매담당 윤홍성 부사장은 “불안정한 국제정세로 불안한 공급상황에서도 국내 협력사와 협업으로 수급 안정화에 크게 기여한 사례”라며 “지속적인 협력을 통해 반도체 원재료 공급망을 강화할 계획”이라고 말했다.

한편 SK하이닉스는 내년 6월까지 크립톤(Kr)과 제논(Xe) 가스를 국산화할 예정이다. 크립톤 및 제논 가스는 식각공정에 쓰인다.
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